數(shù)字式四探針測試儀使用說明

SZT-1型數(shù)字式四探針測試儀是運用四探針測量原理 的多用途綜合測量裝置。它可以測量片狀、快狀半導(dǎo)體材料徑向和軸向電阻率，測量片狀半導(dǎo)體材料的電阻率和擴散層的薄層電阻（方塊電阻），換上特制的四探針測試夾，還可以對金屬導(dǎo)體的低中值電阻進行測量。此外，探針經(jīng)過特殊加工后，還可以測量薄膜材料電阻率。廣泛于半導(dǎo)體材料、器件廠、高等院?；瘜W(xué)物理系、科研單位，對半導(dǎo)體材料的電阻性能測試。
本儀器測試探頭采用寶石導(dǎo)向軸套和高耐磨碳化鎢探針，定位準(zhǔn)確，游移率小，使用壽命長。
SZT-1型數(shù)字式四探針測試儀技術(shù)參數(shù)：
1． 測量范圍：
電阻率：10的-4次方~10的3 次方Ω-cm
方塊電阻：10的-3次方 ~10的4 次方Ω/□
電阻：10的-6次方 ~10的5 次方Ω
導(dǎo)電類型鑒別：電阻率范圍 10的-4 次方~10 的3次方Ω—cm
2． 可測半導(dǎo)體材料尺寸
直徑：φ15~100 mm
長度：≤400mm
3． 測量方法：
軸向、斷面均可
4． 顯示方式：31/2,數(shù)顯,性、過載自動顯示，小數(shù)點、單位自動顯示。
5． 恒流源：
（1） 電流輸出：直流電流0~100 mA連續(xù)可調(diào)。
（2） 量程：10、100μA、1、10、100mA
（3） 誤差：±0.5%讀數(shù)±2個字
6.四探針測試探頭
(1) 探針間距:1mm
(2) 材料:碳化鎢.探針機械游移率:±1.0%
7.電源:220±10% 50Hz或60Hz 功耗:＜35W