實(shí)驗(yàn)室勻膠機(jī)，又稱旋涂儀、甩膠機(jī)，是一種利用離心力原理在基底材料表面制備均勻薄膜的關(guān)鍵設(shè)備，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、材料科學(xué)、生物醫(yī)學(xué)及光學(xué)等領(lǐng)域。其核心功能是通過高速旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生的離心力，將滴加在基片上的膠液均勻鋪展，形成厚度可控的納米級(jí)或微米級(jí)薄膜。

　　勻膠機(jī)通過電機(jī)驅(qū)動(dòng)基片高速旋轉(zhuǎn)（轉(zhuǎn)速范圍通常為50-10000轉(zhuǎn)/分，精度±1%），膠液在離心力作用下從基片中心向外擴(kuò)散，同時(shí)溶劑揮發(fā)，最終形成均勻薄膜。薄膜厚度受轉(zhuǎn)速、膠液黏度、旋涂時(shí)間及環(huán)境溫濕度影響，其中轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性（如±0.5%穩(wěn)定度）和重復(fù)性是決定膜厚均勻性的關(guān)鍵。

　　實(shí)驗(yàn)室勻膠機(jī)的核心模塊直接參與“液體鋪展→離心成膜”過程，是勻膠機(jī)的核心執(zhí)行單元，包括：

　　1、旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)（Spin Chuck）

　　旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)是放置基底并提供離心力的核心部件，其精度直接影響涂層厚度均勻性，關(guān)鍵設(shè)計(jì)特點(diǎn)如下：

　　材質(zhì)與結(jié)構(gòu)：

　　臺(tái)面通常采用耐腐蝕、高剛性材料（如鋁合金陽極氧化、聚四氟乙烯、石英），避免被光刻膠、溶劑腐蝕；臺(tái)面中心多設(shè)計(jì)為“真空吸附孔/真空吸盤”，通過負(fù)壓牢牢固定基底（防止高速旋轉(zhuǎn)時(shí)基底移位或甩出），吸附力度可通過真空閥調(diào)節(jié)（適配不同尺寸、厚度的基底，如2英寸、4英寸硅片，或柔性薄膜）。

　　驅(qū)動(dòng)與轉(zhuǎn)速精度：

　　臺(tái)面下方連接高精度伺服電機(jī)/步進(jìn)電機(jī)，搭配減速箱和編碼器，實(shí)現(xiàn)轉(zhuǎn)速的精準(zhǔn)控制（常規(guī)轉(zhuǎn)速范圍：100~10000 rpm，部分高精度機(jī)型可達(dá)20000 rpm），轉(zhuǎn)速誤差通常≤±1 rpm（避免轉(zhuǎn)速波動(dòng)導(dǎo)致涂層厚度不均）。

　　尺寸適配性：

　　支持更換“適配不同基底尺寸的卡盤”（如圓形卡盤、方形卡盤），可處理直徑從幾毫米（如芯片級(jí)基底）到十幾厘米（如大尺寸玻璃片）的基底，部分機(jī)型支持定制異形基底工作臺(tái)。

　　2、滴膠系統(tǒng)（Dispensing System）

　　滴膠系統(tǒng)負(fù)責(zé)將液體材料精準(zhǔn)滴加在基底中心（或指定位置），確保初始液滴量一致（液滴量偏差會(huì)直接導(dǎo)致涂層厚度不均），主要分為手動(dòng)滴膠組件和自動(dòng)滴膠組件：

　　手動(dòng)滴膠組件：

　　基礎(chǔ)款勻膠機(jī)配置，通常包括“滴膠針頭固定架”（可調(diào)節(jié)針頭高度，避免針頭觸碰基底或液滴飛濺）和“微量移液器/注射器”（用戶手動(dòng)控制滴膠量，適合小批量、非標(biāo)準(zhǔn)化實(shí)驗(yàn)）。

　　自動(dòng)滴膠組件（高d機(jī)型配置）：

　　含精密注射泵/蠕動(dòng)泵（控制滴膠速度和體積，精度可達(dá)μL級(jí)）、“自動(dòng)針頭定位機(jī)構(gòu)”（通過電機(jī)驅(qū)動(dòng)針頭移動(dòng)，實(shí)現(xiàn)多位置滴膠，如針對(duì)大尺寸基底的“多點(diǎn)滴膠”），以及“溶劑清洗單元”（滴膠后自動(dòng)清洗針頭，防止不同材料交叉污染）。

　　3、防護(hù)與腔體結(jié)構(gòu)（Chamber&Shield）

　　用于收集勻膠過程中甩出的多余液體（避免污染設(shè)備和實(shí)驗(yàn)室）、控制揮發(fā)溶劑，并保障操作安全，主要包括：

　　防濺罩（Splash Shield）：

　　環(huán)繞旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)的透明防護(hù)罩（材質(zhì)多為亞克力或石英玻璃），可手動(dòng)或自動(dòng)升降（實(shí)驗(yàn)時(shí)閉合，防止液體飛濺；取放基底時(shí)打開），罩內(nèi)壁通常設(shè)計(jì)為“傾斜導(dǎo)流結(jié)構(gòu)”，使多余液體沿壁流下，匯入下方的“廢液收集槽”。

　　廢液收集與處理單元：

　　收集槽底部連接“廢液管”，將多余液體（如光刻膠廢液）導(dǎo)入專用廢液桶；部分機(jī)型配備“溶劑回收裝置”（如冷凝回收器），可回收揮發(fā)的有機(jī)溶劑（如丙酮、異丙醇），減少污染并降低成本。

　　通風(fēng)接口（可選）：

　　腔體側(cè)面預(yù)留“通風(fēng)管道接口”，可連接實(shí)驗(yàn)室排風(fēng)系統(tǒng)，及時(shí)排出勻膠過程中揮發(fā)的有害溶劑（如光刻膠中的有機(jī)溶劑），保障實(shí)驗(yàn)人員安全。