橢圓偏振測厚儀使用案例

橢圓偏振測厚儀 型號：TPY-1

儀器介紹

TPY-1橢圓偏振測厚儀采用消光法手動調(diào)節(jié)，自動測量薄膜厚度和折射率，精度高、靈敏度高、方便測量。光源采用氦氖激光器，功率穩(wěn)定、波長精度高。儀器軟件具有生成表、查表以及精確計算等功能，方便用戶使用。

規(guī)格參數(shù)

測量范圍薄膜厚度范圍：1nm-300nm；折射率范圍：1-10

測量厚度小示值（nm）≤1

偏振器方位角范圍0°- 180°讀取分辨率為0.05°

測量膜厚精度（nm）±1

折射率重復性精度±0.01

入射角調(diào)節(jié)范圍20°～90°精度為0.05°

入射光波長（nm）632.8

光學中心高（mm）80

允許樣品尺寸（mm）φ10-φ140，厚度≤15

外形尺寸（mm）590*390*290

主機重量（kg）25